碳化硅外延生長爐技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS/MS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)?。?/span>

多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

適于工藝氣氛：真空/H₂/N₂/Ar/MTS/MS。

碳化硅外延生長爐產(chǎn)品規(guī)格

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

碳化硅外延生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C/S分度號(hào)

真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組